发明名称 |
一种复合薄膜烧蚀传感器 |
摘要 |
本实用新型公开了一种复合薄膜烧蚀传感器。所述薄膜烧蚀传感器包括聚酰亚胺基底,设于聚酰亚胺基底正面和背面的过渡层;所述正面过渡层上设有由两个以上的薄膜烧蚀电阻构成的薄膜烧蚀电阻序列;所述薄膜烧蚀电阻序列上设有电阻保护膜;所述薄膜烧蚀电阻包括补偿电阻焊盘;所述基底正面的薄膜烧蚀电阻序列区域下方设有转接焊盘;所述背面过渡层上设有由两个以上的薄膜电偶构成的薄膜热电偶序列;所述薄膜热电偶序列上设有热电偶保护膜;所述薄膜热电偶包括与薄膜热电偶引线连接的薄膜热电偶焊盘。该传感器简单成熟,具有良好的抗环境干扰能力和可靠性水平。 |
申请公布号 |
CN204044096U |
申请公布日期 |
2014.12.24 |
申请号 |
CN201420461249.8 |
申请日期 |
2014.08.15 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
发明人 |
陈伟;景涛;颜志红;谢利华;张龙赐;白庆星 |
分类号 |
G01N27/04(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/04(2006.01)I |
代理机构 |
长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 |
代理人 |
马强;周栋 |
主权项 |
一种复合薄膜烧蚀传感器,其特征在于,所述薄膜烧蚀传感器包括聚酰亚胺基底(1),分别设于聚酰亚胺基底(1)正面和背面的过渡层(8);所述正面过渡层(8)上设有由两个以上的薄膜烧蚀电阻构成的薄膜烧蚀电阻序列(2);所述薄膜烧蚀电阻序列(2)上设有电阻保护膜(9);所述薄膜烧蚀电阻包括补偿电阻焊盘(4);所述基底(1)正面的薄膜烧蚀电阻序列(2)区域下方设有转接焊盘(3);所述背面过渡层(8)上设有由两个以上的薄膜电偶构成的薄膜热电偶序列(5);所述薄膜热电偶序列(5)上设有热电偶保护膜(10);所述薄膜热电偶包括与薄膜热电偶引线(7)连接的薄膜热电偶焊盘(6)。 |
地址 |
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 |