| 摘要 |
<p>Es werden mindestens zwei Werte einer Röntgenbestrahlungsbreite für ein einzelnes Prüfmuster eingestellt. Eine Rockingkurve wird für jede der Röntgenbestrahlungsbreiten gemessen. Ein Wert einer Rockingkurvenbreite wird für jede der Rockingkurven bestimmt. Die Werte der Röntgenbestrahlungsbreite und die Werte der Rockingkurvenbreite werden auf ein planares Koordinatensystem mit einer vertikalen Achse, die den Rockingkurvenbreitenwert darstellt, und einer horizontalen Achse, die den Röntgenbestrahlungs-Breitenwert darstellt, aufgetragen, und eine Rockingkurvenbreiten-Verschiebungslinie wird anhand der aufgetragenen Punkte bestimmt. Ein Gradient der Rockingkurvenbreiten-Verschiebungslinie wird bestimmt. Ein Krümmungsradius des Prüfmusters wird anhand des Gradienten bestimmt. Der Biegebetrag eines Einkristallsubstrats, das einer Messung unterzogen wird, kann gemessen werden, ohne das Einkristallsubstrat bewegen zu müssen, um eine verlässliche Messung mit einem geringen Fehlerbetrag zu erhalten.</p> |
