一种激光振动、位移传感器及其测量方法

摘要

本发明提供一种激光振动、位移传感器及其测量方法，所述激光器出射激光，通过准直系统投射到振动物体上，垂直散射光通过准直系统回到激光器，形成自混合干涉系统；探测器测量激光器输出功率，通过信号解调实现振动物体的高频振动测量；所述振动物体的斜向散射进入聚焦系统中，在散射探测器上得到聚焦光斑位置，形成激光三角法结构，通过散射探测器上光斑位置能够反演出物体的绝对距离，实现测量振动物体的低频位移变化。本发明在不增加系统复杂度的情况下，实现了激光三角法与激光自混合技术的有机结合，实现了测量高频振动与低频位移变化两种功能。

主权项

一种激光振动、位移传感器，其特征在于：包括光学系统(1)与电路系统(3)；在物体振动高频情况下，所述电路系统(3)的驱动电路(33)形成周期电流驱动光学系统(1)的激光器出射激光投射到物体(2)上，所述物体(2)的散射光反馈回激光器(11)形成自混合干涉，并由所述电路系统(3)进行物体(2)的高频振动解调；在物体振动低频情况下，所述电路系统(3)的驱动电路(33)形成恒流电流驱动光学系统(1)的激光器出射激光投射到物体(2)上，所述物体(2)的斜向散射光由聚焦系统(14)接收，在线阵探测器(15)上形成光斑，形成激光三角法结构，并由所述电路系统(3)进行物体(2)的低频振动解调。