复合基板及功能元件

摘要

在由氮化镓单晶构成的晶种(1)的培养面(1a)上规则地排列有锥状或截顶锥状的突起(2)。在晶种的培养面(1a)上通过助熔剂法直接形成有厚度为100μm以下的氮化镓晶体层(4)。

主权项

一种复合基板，其包括由氮化镓单晶构成的晶种以及氮化镓晶体层，其特征在于，在该晶种的培养面上规则地排列有锥状或截顶锥状的突起，所述氮化镓晶体层为，通过助熔剂法直接形成在所述晶种的所述培养面上的厚度为100μm以下的晶体层。