发明名称 |
辐射源清洁系统和包括辐射源清洁系统的模块 |
摘要 |
描述一种用于辐射源的清洁系统。清洁系统包括:(i)清洁室壳体;(ii)可移除地布置在清洁室壳体内的清洁筒;以及(iii)可移除地联接到清洁室壳体的端盖元件。清洁筒包括第一密封元件和第二密封元件,第一密封元件和第二密封元件能够相对于辐射源的外表面提供大致液密密封。还描述辐射源模块和包括辐射源模块的流体处理系统。 |
申请公布号 |
CN104245160A |
申请公布日期 |
2014.12.24 |
申请号 |
CN201380010744.5 |
申请日期 |
2013.02.25 |
申请人 |
特洁安技术公司 |
发明人 |
J·T·巴克;W·弗罗姆;E·坎布劳 |
分类号 |
B08B3/04(2006.01)I;C02F1/30(2006.01)I |
主分类号 |
B08B3/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京市金杜律师事务所 11256 |
代理人 |
苏娟 |
主权项 |
一种用于辐射源的清洁系统,包括:(i)清洁室壳体;(ii)可移除地布置在清洁室壳体内的清洁筒,清洁筒包括第一密封元件和第二密封元件,第一密封元件和第二密封元件能够相对于辐射源的外表面提供大致液密密封;以及(iii)可移除地联接到清洁室壳体的端盖元件。 |
地址 |
加拿大安大略省 |