用于制造太阳能电池的具有多激光脉冲的激光系统

摘要

本发明提供了一种用于从正在制造的太阳能电池(105)移除材料的具有多激光脉冲的激光系统(100)。所述激光系统(100)包括单脉冲激光源(102)和多脉冲发生器(106)。所述多脉冲发生器(106)从所述单脉冲激光源(102)接收单脉冲激光束(103)并且将所述单脉冲激光束(103)转化成多脉冲激光束(107)。激光扫描仪(104)将所述多脉冲激光束(107)扫描到所述太阳能电池(105)上以从所述太阳能电池(105)移除材料。

主权项

一种从正在制造的太阳能电池移除材料的方法，所述方法包括：从单脉冲激光源发射单脉冲激光束；将所述单脉冲激光束分成第一激光束和第二激光束；沿第一光学路径引导所述第一激光束；沿第二光学路径引导所述第二激光束，所述第二光学路径长于所述第一光学路径；将所述第一激光束和所述第二激光束重新结合成多脉冲激光束，所述多脉冲激光束包括第一激光脉冲和第二激光脉冲，所述第一激光脉冲和所述第二激光脉冲由激光脉冲延迟时间分隔；以及将所述多脉冲激光束冲击到太阳能电池的材料上以移除所述材料的一部分。