| 发明名称 | 一种薄膜厚度检测机构 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开一种薄膜厚度检测机构，包括：薄膜厚度探头（1），其设置在薄膜（2）上，用于感应检测所述薄膜（2）的厚度；水冷保护罩（3），其覆盖在所述薄膜厚度探头（1）上，用于降低局部温度；支撑机构（4），其设置在所述薄膜（2）的下方，用于撑托薄膜（2），所述支撑机构（4）的下方设置溅射阴极（5）。本实用新型所述薄膜厚度检测机构能够在真空状态下，对连续生产的真空溅镀的薄膜的厚度进行在线测量。 | ||
| 申请公布号 | CN204039491U | 申请公布日期 | 2014.12.24 |
| 申请号 | CN201420380872.0 | 申请日期 | 2014.07.11 |
| 申请人 | 苏州诺耀光电科技有限公司 | 发明人 | 王振东;何万能 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种薄膜厚度检测机构，其特征在于，包括：薄膜厚度探头（1），其设置在薄膜（2）上，用于感应检测所述薄膜（2）的厚度；水冷保护罩（3），其覆盖在所述薄膜厚度探头（1）上，用于降低局部温度；支撑机构（4），其设置在所述薄膜（2）的下方，用于撑托薄膜（2），所述支撑机构（4）的下方设置溅射阴极（5）。 | ||
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区01栋101、102室 | ||