发明名称 封测设备真空小转盘
摘要 本实用新型公开了一种封测设备真空小转盘,包括小转盘本体,所述小转盘本体上沿径向圆周均匀设置有凹槽,每个所述凹槽内均设置有两个并列的真空孔;所述凹槽内的设置有四个引脚,四个所述引脚的端面对应所述真空孔,且四个所述引脚的高度高出所述凹槽侧壁50%;所述凹槽的四个所述引脚与所述凹槽的侧壁之间填充有金属垫块,所述金属垫块的高度与所述凹槽的深度一致。该实用新型通过将凹槽内的引脚加高50%,并增加一个具有吹气功能的真空孔,使凹槽的稳固性增加,降低了引脚的损坏率,节约了替换成本并提升了工作效率。
申请公布号 CN204045557U 申请公布日期 2014.12.24
申请号 CN201420488703.9 申请日期 2014.08.28
申请人 江苏格朗瑞科技有限公司 发明人 张巍巍
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种封测设备真空小转盘,其特征在于,包括小转盘本体,所述小转盘本体上沿径向圆周均匀设置有凹槽,每个所述凹槽内均设置有两个并列的真空孔;所述凹槽内的设置有四个引脚,四个所述引脚的端面对应所述真空孔,且四个所述引脚的高度高出所述凹槽侧壁50%;所述凹槽的四个所述引脚与所述凹槽的侧壁之间填充有金属垫块,所述金属垫块的高度与所述凹槽的深度一致。
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