发明名称 |
一种温湿度传感器 |
摘要 |
本发明公开了一种温湿度传感器,包括衬底、导电层、湿度敏感层、测试电极和金属电极;所述导电层形成于所述衬底上,所述湿度敏感层形成于所述导电层上且完全覆盖所述导电层,所述金属电极固定于所述湿度敏感层上,所述测试电极固定于所述衬底上且与所述导电层连接。采用本发明实施例,使温湿度传感器体积小,质量轻,精度高,集成化程度高,制作工艺简单,且成本低廉。 |
申请公布号 |
CN104236739A |
申请公布日期 |
2014.12.24 |
申请号 |
CN201410508317.6 |
申请日期 |
2014.09.28 |
申请人 |
苏州能斯达电子科技有限公司 |
发明人 |
谷文;张珽;祁明锋;刘瑞;沈方平;丁海燕 |
分类号 |
G01K7/16(2006.01)I;G01N27/22(2006.01)I |
主分类号 |
G01K7/16(2006.01)I |
代理机构 |
广州三环专利代理有限公司 44202 |
代理人 |
麦小婵;郝传鑫 |
主权项 |
一种温湿度传感器,其特征在于,包括衬底、导电层、湿度敏感层、测试电极和金属电极;所述导电层形成于所述衬底上,所述湿度敏感层形成于所述导电层上且完全覆盖所述导电层,所述金属电极固定于所述湿度敏感层上,所述测试电极固定于所述衬底上且与所述导电层连接。 |
地址 |
215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号 |