热蒸发镀膜设备的热蒸发源

摘要

一种热蒸发镀膜设备的热蒸发源，包括用于沉积薄膜的衬底、用于装载蒸发材料的坩埚，及用于加热所述坩埚的加热组件；所述坩埚上设有多个与所述衬底相对的喷嘴，所述多个喷嘴中的每两个相邻喷嘴之间的距离不全相等。采用非均匀分布的喷嘴排列方式，改变了每个喷嘴喷射到衬底平面上的位置，而衬底上的总的喷射材料是各个喷嘴喷射材料的叠加，从而改善蒸发镀膜的均匀性。

主权项

一种热蒸发镀膜设备的热蒸发源，包括用于沉积薄膜的衬底、用于装载蒸发材料的坩埚，及用于加热所述坩埚的加热组件；其特征在于，所述坩埚上设有多个与所述衬底相对的喷嘴，所述多个喷嘴中的每两个相邻喷嘴之间的距离不全相等；其中两个d2间距用于把喷嘴分成三组，中央的5个喷嘴组成主喷射组，其中相邻间距为d1，两边各有一组补偿组，每个组内喷嘴以d3等距离分布，组和组之间以间距d2分开；对于喷嘴和衬底间距为20cm的情况，对于衬底的宽度为f，f的单位为cm，分组喷组方案中的三个特征间距分别为，以cm为单位：d1＝0.09*f+1.6；d2＝0.05*f+5；d3＝0.1*f          (III)；对于喷嘴和衬底间距为30cm的情况，对于衬底的宽度f，f的单位为cm，分组喷组方案中的三个特征间距分别为，以cm为单位：d1＝0.05*f+4；d2＝0.2*f+2；d3＝3            (IV)。