发明名称 感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置
摘要 本发明提供一种感光度及密接性、耐热透明性均优异的感光性树脂组合物。该感光性树脂组合物包括:(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分,(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物,(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物;(B)光酸产生剂;(C)由下述通式(I)所表示的化合物;以及(D)溶剂。<img file="DDA0000586465480000011.GIF" wi="678" he="121" />
申请公布号 CN104246608A 申请公布日期 2014.12.24
申请号 CN201380019967.8 申请日期 2013.04.10
申请人 富士胶片株式会社 发明人 山田悟;柏木大助;佐竹亮
分类号 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I;H05B33/22(2006.01)I 主分类号 G03F7/004(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 臧建明
主权项 一种感光性树脂组合物,其包括:(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分,(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物,(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物;(B)光酸产生剂;(C)由下述通式(I)所表示的化合物;以及(D)溶剂;通式(I)[化1]<img file="FDA0000586465450000011.GIF" wi="701" he="144" />(通式(I)中,R<sup>11</sup>及R<sup>12</sup>分别表示含有脂肪族烃基、芳香族烃基及杂环基的至少1个的基,n表示2~4的整数)。
地址 日本东京港区西麻布二丁目26番30号