| 发明名称 | 一种间隔片控制装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种间隔片控制装置和方法，包括：圆线旋转弹簧、内后棘轮、内前棘轮和外棘轮；其中，所述外棘轮有一受力面；所述内后棘轮和内前棘轮在所述外棘轮中；所述内前棘轮靠近所述外棘轮的受力面；所述圆线旋转弹簧、所述内后棘轮和所述内前棘轮依序排列。当有一外力F推动外棘轮的受力面，通过圆线旋转弹簧、内后棘轮、内前棘轮和外棘轮实现间隔片控制装置带动间隔片推进和自动缩回的两个方向的运动。此外，通过固定件和弹簧导向限位件将间隔片在自动推进和自动缩回的过程中限制在极限范围内，避免对基片产生损坏。 | ||
| 申请公布号 | CN104241165A | 申请公布日期 | 2014.12.24 |
| 申请号 | CN201310245120.3 | 申请日期 | 2013.06.19 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 朱鸷;梁德志 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种间隔片控制装置，其特征在于，包括：圆线旋转弹簧、内后棘轮、内前棘轮和外棘轮；其中，所述外棘轮有一受力面；所述内后棘轮和内前棘轮在所述外棘轮中；所述内前棘轮靠近所述外棘轮的受力面；所述圆线旋转弹簧、所述内后棘轮和所述内前棘轮依序排列。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||