沉积掩模

摘要

公开了一种用于沉积薄膜的掩模以及一种使用该掩模的薄膜沉积方法。该掩模包括设置在框架上的图案条。图案条可移动并且被定位以形成沉积图案。该掩模包括被构造为将图案条移动到多个位置以修改沉积图案的图案修改机构。

主权项

一种沉积掩模，所述沉积掩模包括：框架；图案条，设置在框架上，图案条被构造为形成沉积图案；以及图案修改机构，被构造为移动图案条以修改沉积图案。