| 发明名称 | 高效制作高精度多台阶微透镜阵列的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种高效制作高精度多台阶微透镜阵列的方法，将待制作的台阶阵列分为若干组，包括第一组、第二组，第一组与第二组首尾相接，每组的各台阶是深度连续的；同步制作第一组与第二组的各台阶，形成对应深度相同的两组台阶；将第二组台阶整体刻蚀一定的深度，与第一组台阶形成深度连续的台阶阵列。采用本发明的方法，分组同步制作，大大提升了制作效率，节省了成本。 | ||
| 申请公布号 | CN104237983A | 申请公布日期 | 2014.12.24 |
| 申请号 | CN201410519354.7 | 申请日期 | 2014.09.30 |
| 申请人 | 中国空空导弹研究院 | 发明人 | 侯治锦;司俊杰;韩德宽;陈洪许;吕衍秋;王巍 |
| 分类号 | G02B3/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人 | 胡泳棋 |
| 主权项 | 高效制作高精度多台阶微透镜阵列的方法，其特征在于，在基底上等间隔制作出初始深度的台阶，然后将待制作的台阶阵列分为若干组，包括第一组、第二组，第一组与第二组首尾相接，每组的各台阶是深度连续的；同步制作第一组与第二组的各台阶，形成对应深度相同的两组台阶；将第二组台阶整体刻蚀一定的深度，与第一组台阶形成深度连续的台阶阵列。 | ||
| 地址 | 471009 河南省洛阳市解放路166号 | ||