一种双面电泳架装置

摘要

本实用新型涉及双面GPP保护晶体管芯片生产设备，具体是一种改造后的电泳用双面电泳架装置。双面电泳架包括横梁、负极板、正极环、托板、定位板、插槽和侧板，其中横梁的两端水平固定在两侧板的上部内侧，两定位板分别固定在两侧板的上部外侧，用于与电泳设备电源连接的插槽固定在其中的一个侧板的上端，托板的两端水平固定在两侧板的下部内侧，数个负极板和正极环依次交替固定在托板上。使用双面电泳架装置，硅片两面同时电泳一致性好，避免两次单面电泳造成的硅片两面玻璃层厚度不一致的问题，两面同时电泳不易损坏，由此提高了产品良率及可靠性。

主权项

一种双面电泳架装置，其特征在于：包括横梁（1）、负极板（2）、正极环（3）、托板（4）、定位板（5）、插槽（6）和侧板（7），其中横梁（1）的两端水平固定在两侧板（7）的上部内侧，两定位板（5）分别固定在两侧板（7）的上部外侧，用于与电泳设备电源连接的插槽（6）固定在其中的一个侧板（7）的上端，托板（4）的两端水平固定在两侧板（7）的下部内侧，数个负极板（2）和正极环（3）依次交替固定在托板（4）上。