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Vorrichtung zur dreidimensionalen Messung, die die Messgenauigkeit verbessern kann, wenn dreidimensionale Messungen durchgeführt werden. Eine Substratuntersuchungsvorrichtung (10) umfasst: Eine Fördervorrichtung (13), die ein Leitersubstrat (1) transportiert, eine Beleuchtungsvorrichtung (14), die vier Lichtmuster unterschiedlicher Leuchtdichte auf das Leitersubstrat (1) strahlt, und eine Kamera (15), die das Leitersubstrat (1), auf das das Lichtmuster gestrahlt wird, abbildet. Ferner sind, wenn vier Teile von Bilddaten, die unter einem Lichtmuster mit der gleichen Leuchtdichte, deren Phase um einen vorbestimmten Betrag geändert worden ist, als eine Gruppe behandelt werden, vier Gruppen von unter den vier Lichtmustern abgebildeter Bilddaten für jeden vorbestimmten Transportbetrag des Leitersubstrats (1) erforderlich. Als nächstes wird bestimmt, ob der Leuchtdichtewert für jedes Pixel der Bilddaten einen Leuchtdichtewert für jedes Pixel der Bilddaten hat, der sich innerhalb des effektiven Bereichs (H) befindet, eine Gruppe von Daten, die einen Leuchtdichtewert für jedes Pixel der Bilddaten innerhalb des effektiven Bereichs (H) besitzt, wird von den vier Gruppen von Daten extrahiert, und dreidimensionale Messungen werden auf der Grundlage der extrahierten Gruppen von Daten durchgeführt. |
