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<p>여과 처리 시에 안정된 개구 직경을 얻을 수 있고, 더구나 눈막힘되었을 때에 용이하게 재생하여 반복 사용할 수 있는 여과용 필터를 제공한다. 여과용 필터(10)는, 표리에 관통하는 관통 구멍을 갖는 기판(11)을 적층한 기판 적층체와, 기판(11) 상호의 간격을 규정하는 스토퍼(15), 및 스토퍼(15)보다 열팽창 계수가 큰 필러(16)를 가지고, 필러(16)의 길이를 스토퍼(15)의 길이보다 길게 하고, 기판(11) 상호간의 상온 시의 간격을 적어도 스토퍼(15)로 규정하고, 가열 시의 간격을 열팽창된 필러(16)로 규정하고, 기판(11) 상호간의 간극에서 피처리액(A)에 포함되는 오염 물질을 포착하는 여과면을 형성한다.</p> |
