| 摘要 |
본 발명은 그래핀층 형성을 위한 기판 및 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 상부에 형성되는 그래핀층의 특성을 개선할 수 있는 구조를 가지는 그래핀층 형성에 사용되는 기판 및 이를 이용한 고품질 그래핀층의 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판층, 상기 기판층의 상부에 위치하고 그래핀층의 형성에 있어서 촉매로서 작용하는 금속촉매층 및 상기 기판층과 상기 금속촉매층의 중간에 위치하여 상기 금속촉매층의 응력을 줄여주는 응력감소층을 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀층 형성에 사용되는 기판을 개시하며, 본 발명에 의하여 금속박막의 응력(stress)을 줄여줄 수 있는 응력감소층을 형성함으로써 금속박막의 결정성 및 표면 거칠기를 개선할 수 있고 이를 이용하여 고품질의 그래핀층을 형성할 수 있는 효과를 갖는다. |
