| 摘要 |
<p>본 발명은, 촬상 화상 중의 백색 흠집 및 잔상을 억제하는 것이 가능한 고체 촬상 장치의 제조 방법 및 고체 촬상 장치를 제공하는 것이다. 실시 형태에 따른 고체 촬상 장치의 제조 방법에서는, 전송 게이트 전극을 제1 도전형의 반도체 영역 상면의 소정 위치에 게이트 절연막을 개재하여 형성한다. 제1 도전형의 반도체 영역에서의 전송 게이트 전극과 인접하는 영역에, 광전 변환 소자에 의해 광전 변환된 전하를 축적하는 제2 도전형의 전하 축적 영역을 형성한다. 전송 게이트 전극의 측면에 측벽을 형성한다. 측벽에 있어서의 전하 축적 영역측의 외주면으로부터 전하 축적 영역의 상방의 일부를 피복하는 위치까지 연장되는 절연막을 형성한다. 절연막에 의해 상방의 일부가 피복된 전하 축적 영역에, 상방으로부터 제1 도전형의 불순물을 주입하여 전하 축적 영역의 상면 부분에 제1 도전형의 전하 축적층을 형성한다.</p> |
