Unidirectional MEMS microphone

摘要

단일지향성 멤스 마이크로폰이 제공된다. 상기 단일지향성 멤스 마이크로폰은 제1 음향홀을 포함하는 기판;　제2 음향홀을 포함하고, 상기 기판을 커버하는 하우징; 상기 기판 상 및　상기 하우징 내에 형성되고, 음향 신호를 전기 신호로 변환하는 멤스(MEMS) 소자; 및 상기 제1 음향홀과 상기 멤스 소자 사이, 또는 상기 제2 음향홀과 상기 멤스 소자 사이에 배치되는 지연 유닛을 포함할 수 있다.