| 摘要 |
<p>본 발명은 밸브 클로저(2)를 조정축(3)을 따라 진공밸브(4)의 개방위치(A)와 기밀 밀폐위치(B) 사이로 선형 변위시키기 위한 진공밸브 구동장치(1), 및 진공밸브 구동장치(1)를 포함하는 진공밸브(4)에 관한 것이다. 진공밸브 구동장치(1)는 기밀 작동공간(6)을 구비하는 구동장치 하우징(5), 작동공간(6) 내에 위치하여 작동공간(6)을 제1 압력공간(6a)과 제2압력공간(6b)으로 구분하는 피스톤(7), 및 기밀상태의 작동공간(6)에서부터 밸브 클로저(2)까지 연장되는 적어도 하나의 커넥팅 로드(8,9)를 포함한다. 본 발명에 따르면, 작동공간(6) 내에서 조정축(3)에 대해 평행하게 중앙으로 연장되고, 피스톤(7)을 통해 안내되는 정지 안내 로드(11), 및 피스톤(7)과 안내 로드(11) 사이에 있는 정밀 선형 베어링(12)이 제공된다. 안내 로드(11)에 의해 피스톤(7)이 고정밀도로 선형적으로 안내되어 작동공간(6)의 중앙에 위치되므로, 피스톤(7)에 연결된 밸브 클로저(2)는 고정밀도로 이동되어 밸브 시이트(22)에 가압 밀착되며, 그에 따라 금속마찰로 인한 미립자 발생이 방지된다. 다른 개선점에 따르면, 안내 로드(11)내의 채널(19)을 통해 제2압력공간(6b)에 가스압력이 인가된다.</p> |
