发明名称 LIQUID SUSPENSION AND POWDER OF CERIUM OXIDE PARTICLES, METHODS FOR MAKING THE SAME AND USES THEREOF IN POLISHING
摘要 <p>본 발명은 입자 (2차 입자)의 평균 크기가 200 nm 이하이며, 상기 2차 입자는, 평균 크기가 100 nm 이하이고, 이때 표준 편차가 상기 평균 크기의 값의 30% 이하인 1차 입자를 포함하는 세륨 옥시드 입자의 현탁액에 관한 것이다. 상기 현탁액은 세륨 IV 또는 과산화수소를 포함하는 세륨-III 염의 용액을 니트레이트 이온의 존재하에 비활성 대기에서 염기와 접촉시켜 제조한다. 이에 따라 수득된 매질을 비활성 대기 중에서 열처리시킨 후, 산성화 및 세정한다. 현탁액을 건조 및 소성시켜 분말을 수득한다. 현탁액 및 분말은 연마에 이용될 수 있다.</p>
申请公布号 KR101475174(B1) 申请公布日期 2014.12.22
申请号 KR20137032326 申请日期 2007.10.04
申请人 发明人
分类号 B82B1/00;B82B3/00;C07F5/00;C09G1/02 主分类号 B82B1/00
代理机构 代理人
主权项
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