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<p>평균 입경이 0.1∼200 ㎛ 인 분말로 이루어지고, 산소 함유량이 1000 wtppm 이하인 것을 특징으로 하는 소결용 Sb-Te 계 합금 분말 및 Sb-Te 계 합금으로 이루어지는 소결체 타겟으로서, 산소 함유량이 1000 wtppm 이하, 항절력이 50 MPa 이상, 상대 밀도가 99 % 이상인 것을 특징으로 하는 Sb-Te 계 합금으로 이루어지는 소결체 타겟. Sb-Te 계 합금 스퍼터링 타겟 조직의 균일화와 미세화를 도모하여, 소결 타겟의 크랙 발생을 억제하고, 스퍼터링시에 아킹 발생을 방지한다. 또, 스퍼터 침식에 의한 표면의 요철을 감소시켜, 양호한 품질의 Sb-Te 계 합금 스퍼터링 타겟을 얻는다.</p> |
