洗净液组成物及基板之洗净方法

摘要

本发明系揭露一种洗净液组成物及基板之洗净方法。此洗净液组成物包含硷性化合物(A)、如式(I)或式(II)所示之非离子型界面活性剂(B)、多羟基羧酸化合物(C)以及水(D)。在式(I)及式(2)中，EO为乙氧基；AO为PO及/或BO，PO为丙氧基，而BO为丁氧基；m为3～100之数；n为0～0.2×m之数；p为3～100之数；q为0至0.2×p之数；x为1或2；且y为1或2。此洗净液组成物之洗净力佳且消泡性佳，可有效洗净玻璃基板。;式(I) 式(II)

主权项

一种洗净液组成物，包含：硷性化合物(A)；如式(I)或式(II)所示之非离子型界面活性剂(B)；在该式(I)及该式(2)中，该EO为乙氧基；该AO为PO及/或BO，该PO为丙氧基，且该BO为丁氧基；该m为3~100之数；该n为0~0.2×m之数；该p为3~100之数；该q为0至0.2×p之数；该x为1或2；且该y为1或2；多羟基羧酸化合物(C)，其中该多羟基羧酸化合物(C)含有3个或3个以上羟基；以及水(D)。