载置台机构、使用彼之电浆处理装置及对静电吸盘之电压施加方法

摘要

[课题]提供一种：将在吸盘电极处施加直流电压时以及将电压遮断时之吸盘等价电路的时间常数缩小，而成为将电荷之积蓄以及电荷之放出分别迅速地来进行的载置台机构。;[解决手段]被设置在处理容器(52)内，并将被施加电浆处理的被处理体(W)作载置之载置台机构，其特征为，具备有：载置台(84)；和于内部被设置有吸盘电极(114)之静电吸盘(86)；和经由给电线(116)而被作了连接之直流高压电源(120)；和介在设置于给电线处之吸盘用开关部(124)；和将载置台处之直流成分检测出来之直流成分检测电路(96)；和将直流成分检测电路作旁通之旁通线(108)；和被介在设置于旁通线之途中，并将直流检测电路作旁通，而将载置台接地之旁通用开关部(110)；和对开关部作控制之开关控制部(112)。

主权项

一种载置台机构，系为被设置在成为可进行真空排气之处理容器内，并将使用经由高频电力所产生之电浆而被施加特定之电浆处理的被处理体作载置之载置台机构，其特征为，具备有：载置台，系为用以载置前述被处理体，并由导电构件所成；和静电吸盘，系被配置在前述载置台之上面，并为了将前述被处理体作吸着，而于内部被设置有吸盘电极；和直流高压电源，系为了施加使静电力产生之直流电压，而经由给电线来连接于前述吸盘电极处；和吸盘用开关部，系被介在设置于前述给电线之途中，当将前述被处理体作吸着时，系被关闭；和直流成分检测电路，系为了将在前述电浆处理时所施加在前述载置台处之直流成分检测出来，而被连接于前述载置台处；和旁通线，系将前述直流成分检测电路作旁通；和旁通用开关部，系被介在设置于前述旁通线之途中，并当将前述吸盘用开关部切换为闭状态时以及切换为开状态时，为了减少吸盘等价电路的时间常数而将前述直流成分检测电路作旁通，而将前述载置台接地；和开关控制部，系对2个的前述开关部作控制。