用于复数个受测装置的同时光学测试之系统和方法

摘要

用于复数个受测装置的同时光学测试之系统和方法。这些系统和方法可包含一光学探针组件的使用，该光学探针组件系包含一被配置以提供一电流至复数个受测装置(DUT)的电源供应结构、以及一被配置以同时收集可能是由该复数个DUT产生的电磁辐射并且提供该收集到的电磁辐射至一或多个光学侦测装置的光学收集结构。该系统和方法亦可包含该光学探针组件在一光学探针系统中的使用，以评估该复数个DUT的每个DUT的一或多个效能参数。

主权项

一种光学探针组件，其系被配置以提供电流至复数个受测装置(DUT)并且从该复数个DUT接收电磁辐射，其中该复数个DUT系在一基板上，该光学探针组件系包括：一电源供应结构，其被配置以同时提供该电流至该复数个DUT；以及一光学收集结构，其系被配置以从该复数个DUT的每一个同时收集该电磁辐射并且提供该电磁辐射至一光学侦测结构，其中该光学收集结构包括与该复数个DUT中的一第一受测装置(DUT)相关的一第一光学收集装置以及与该复数个DUT中的一第二DUT相关的一第二光学收集装置；以及一光学挡板结构，其系配置以减少从该第一DUT至该第二光学收集装置的电磁辐射的传递。