化学机械研磨系统

摘要

一种化学机械研磨系统，包含有一晶圆研磨单元，其产生一使用过的浆料、一浆料处理系统，用来接受并处理使用过的浆料，藉以提取出一硷液、以及一研磨后清洗单元，使用提取出的硷液来清洗一经过研磨的晶圆表面。研磨后清洗单元包含有复数个滚轴，用来支撑并转动一晶圆、一清洗刷，用来刷洗晶圆、以及一喷洒棒，设置在清洗刷附近，用来将提取出的硷液喷洒至研磨过的晶圆表面。

主权项

一种化学机械研磨系统，包含有：一晶圆研磨单元，其产生一使用过的浆料：一浆料处理系统，用来接受并处理该使用过的浆料，藉以提取出一硷液，该浆料处理系统包含有一离心分离装置以及一过滤装置，该使用过的浆料会先经过该离心分离装置，之后再经过该过滤装置；以及一研磨后清洗单元，使用该提取出的硷液来清洗一经过研磨的晶圆表面。