一种振幅变化与气压呈线性关系的气压量测装置的制作方法

摘要

提出一种线性气压量测装置，包含有一本体、一连接部以及一振动元件。该连接部连接于该本体，该振动元件连接于该连接部，并具有一超距力结构以诱发振动。

主权项

一种制造一线性气压量测装置的方法，包含下列步骤：提供一基板，其包含一介电材料；于该基板上形成一第一导电层；以及对该基板进行一第一蚀刻，以形成一悬浮结构梁和连结于该悬浮结构梁之一连接部，该悬浮结构梁具有在该第一导电层上的一第一表面，和相对于该第一表面的一第二表面。