碳奈米管集合体及其制造方法

摘要

本发明提供一种碳奈米管集合体之制造方法，其含有：在基板上形成既定粒径之金属微粒之步骤；使该金属微粒于还原环境气氛中加热至300℃~400℃之既定温度使表面还原之步骤；使该金属微粒于反应炉内加热至既定之反应温度之步骤；将有机化合物蒸气导入至反应炉而在该金属微粒上长碳奈米管之步骤，其从开始对该金属微粒进行加热后、至碳奈米管开始成长的期间，系使该金属微粒之温度超过450℃的时间为600秒以内。

主权项

一种碳奈米管集合体之制造方法，其特征在于，含有：在基板上形成具有既定粒径之金属微粒之步骤；将该金属微粒于还原环境气氛中加热至300℃~400℃之既定温度以使表面还原之步骤；将该金属微粒于反应炉内加热至既定之反应温度之步骤；于反应炉导入有机化合物蒸气而在该金属微粒上长碳奈米管之步骤，其从开始对该金属微粒进行加热后、至碳奈米管开始成长的期间，系使该金属微粒之温度超过450℃的时间为600秒以内。