| 发明名称 |
光酸产生剂及含该光酸产生剂之光阻剂 |
| 摘要 |
本发明系提供新颖之光酸产生剂化合物，其系包含结构-C(=O)N<之氮系官能成份。本发明亦提供包含一种或多种本发明之PAG之光阻剂组成物。 |
| 申请公布号 |
TWI465417 |
申请公布日期 |
2014.12.21 |
| 申请号 |
TW100114602 |
申请日期 |
2011.04.27 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 美国 |
发明人 |
裵荣喆;卡多罗西亚 汤玛士;刘易 |
| 分类号 |
C07C309/06;G03F7/004;H01L21/027;G03F7/26 |
主分类号 |
C07C309/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
一种光酸产生剂化合物，其系包含下式之结构：RO(C=O)(CXY)p(CF2)nSO3-M+其中，R系包含结构-C(=O)N(R1)(R2)之基的非氢取代基，其中，R1及R2系个别相同或不同，且可为氢或非氢取代基；或R1及R2可与该氮一起形成环；X及Y系个别独立为氢或非氢取代基；p为0或正整数；n为正整数；以及M+系相对离子。 |
| 地址 |
美国 |
