基板收纳容器

摘要

本发明系提供可减少相对于基板之保持构件的接触区域，减低基板的污染等的基板收纳容器。;一种基板收纳容器，系在可整理排列地收纳复数枚半导体晶圆(W)的容器本体(10)与盖体(20)之间，介在有保持半导体晶圆(W)的保持构件(30)之基板收纳容器，将保持构件(30)由从盖体(20)的天板内面往收纳容器本体(10)之半导体晶圆(W)方向延伸，并排于复数枚半导体晶圆(W)的整理排列方向的可挠性之复数弹性(31)片，及形成于各弹性片(31)的前端部，接触保持半导体晶圆(W)之周缘部上端的保持沟片(34)来形成。并使弹性片(31)与保持沟片(34)，随着从盖体(20)天板内侧往半导体晶圆(W)方向渐渐地弯曲而朝向半导体晶圆(W)的半径外方向，减少相对于半导体晶圆(W)之周缘部上端的保持沟片(34)之接触保持区域。

主权项

一种基板收纳容器，系在可整理排列地收纳复数枚基板之容器本体与其盖体之间，介在有保持基板之保持构件的基板收纳容器，其特征为：保持构件系包含：可挠性之复数弹性片，系从盖体的内侧往收纳在容器本体之基板方向延伸，并排于复数枚基板的整理排列方向；及保持沟片，系形成于弹性片，接触保持基板的周缘部；复数弹性片，系具备与基板的周缘部略对向之一对弹性片，并将该一对弹性片排列于复数枚基板的整理排列方向，使各弹性片从盖体的内面突出，于其前端部系形成保持沟片，并使该等弹性片与保持沟片，随着从盖体内侧往基板方向渐渐地弯曲而朝向基板的宽度方向外侧，减少相对于基板之周缘部的保持沟片之接触保持区域。