涂布装置

摘要

该涂布装置，具备有：在藉由基板搬运部使基板浮起来进行搬运的同时，将液状体涂布于该基板的涂布部；上述涂布部，具有吐出上述液状体的喷嘴，并且该涂布装置具备有：在从上述基板搬运部上偏离的预定位置，来进行以上述基板为基准的上述喷嘴的水平调整的调整机构。

主权项

一种涂布装置，是具备有：在藉由基板搬运部使基板浮起来进行搬运的同时，将液状体涂布于该基板的涂布部之涂布装置，其特征为：上述涂布部，具有吐出上述液状体的喷嘴，上述基板搬运部具有形成有与上述基板相对向的台表面之台，并且能以上述基板的基板面沿着上述台表面的方式进行搬运，具备有：为了使上述喷嘴对在上述台表面被搬运的上述基板成为平行，在从上述基板搬运部上偏离的预定位置，进行以载置于上述台表面上的基准板为基准的上述喷嘴的平行调整的调整机构，上述调整机构具有：沿着从上述预定位置朝上述台之方向，出没于上述台上之测长构件。