发明名称 |
固定治具及工件之处理方法 |
摘要 |
[课题]是由板状的治具本体(2)、和紧贴保持而自由装卸工件(W)的紧贴层(3)所构成,治具本体在单面具有支承紧贴层的复数个支承突起(4),并且在单面的外周部具有和支承突起同等高度的侧壁(5),在该侧壁的端面黏着有紧贴层,在紧贴层和治具本体之间划分出区划空间(6),经由形成于治具本体的通气孔(7)来吸引区划空间内的空气,藉此使紧贴层变形之物,即使在进行对工件施力这样的处理时,仍可确实地支承固定工件。;[解决手段]在治具本体(2)形成吸附孔(8),该吸附孔(8)开口至紧贴层(3)侧的外表面且不连通至区划空间(6)。然后,在紧贴层(3)形成连通至吸附孔(8)的贯通孔(9),利用吸附孔(8)的真空吸引,使吸附力作用于工件(W)。 |
申请公布号 |
TWI466222 |
申请公布日期 |
2014.12.21 |
申请号 |
TW097130427 |
申请日期 |
2008.08.08 |
申请人 |
琳得科股份有限公司 日本;信越聚合物股份有限公司 日本 |
发明人 |
濑川丈士;田中清文 |
分类号 |
H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/683 |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 |
主权项 |
一种固定治具,为固定薄板状之工件的固定治具,是利用板状的治具本体、和设于该治具本体之单面且紧贴保持而自由装卸工件的紧贴层所构成,前述治具本体在单面具有支承前述紧贴层的复数个支承突起,并且在单面的外周部具有和前述支承突起同等高度的侧壁,在该侧壁的端面黏着有前述紧贴层,在前述紧贴层和前述治具本体之间划分出由前述侧壁所包围的区划空间,在前述治具本体形成有连通至前述区划空间的通气孔,利用经由该通气孔来吸引前述区划空间内的空气,使前述紧贴层变形;其特征为:在前述治具本体的周围之一侧部,形成从前述侧壁朝内侧膨出之膨出部并开口至该膨出部的前述紧贴层侧的外表面且不连通至前述区划空间的吸附孔,是形成在前述治具本体,并且在前述紧贴层形成连通至该吸附孔的贯通孔,利用前述吸附孔的真空吸引,使吸附力作用于前述工件。 |
地址 |
日本 |