探针装置

摘要

本发明系提供一种于使用维护用基板来进行检测部之维护作业时，能抑制产量下降的探针装置。该探针装置具备：晶圆搬送手臂，系具有手臂本体；预对位机构，系针对从晶圆盒中取出的晶圆进行方向与中心部的定位；以及基板保持部，系具有能从晶圆搬送手臂处接收该晶圆且进行吸着保持的吸着部。当发生了需中断当下处理以进行该检测部维护作业之情况，能将手臂本体所支撑的基板保持于基板保持装置，并藉由手臂本体来将基板收纳部内的探针研磨用基板取出而与晶圆挟具上的基板进行交换。藉此能于进行探针研磨处理时缩短检测部的待机时间，并提高该试验的产量。

主权项

一种探针装置，系使得载置于检测部的载置台之被检测对象之基板的电极片与探针卡的探针接触以测量该基板之被检测部的电气特性，其特征在于具备：载入埠，系用以载置收纳有复数个基板的搬送容器；基板搬送机构，系于该载入埠所载置的该搬送容器与检测部的载置台之间进行该基板的递送，且具有互相独立并可自由进退的复数个基板支撑组件，当其支撑着未检测之该基板而待机时，会有一个清空的该基板支撑组件；搬送室，系连接至该载入埠与该检测部，并能让该基板搬送机构于其内部移动；预对位机构，系设置于该搬送室内，具有能固定基板并旋转的回转台以及检测出该回转台上之基板周缘的周缘检知部，以针对自该搬送容器中取出的基板进行方向与中心部的定位；基板收纳部，系设置于该搬送室内并收纳有用以进行该检测部之维护作业的维护用基板；基板保持装置，系设置于该搬送室内并具有能从该基板搬送机构处接收该基板且进行吸着保持之吸着机构；以及控制部，系控制该基板搬送机构，当该检测部之载置台处载置有基板时且发生了需中断当下处理以进行该检测部维护作业之情况，能将该基板支撑组件所支撑的该基板保持于该基板保持装置，同时藉由该基板支撑组件来将该基板收纳部内的该维护用基板取出而与该载置台上的基板进行交换。