提升晶圆快速热处理产能之设备与操作方法

摘要

一种提升晶圆快速热处理产能之设备及操作方法，该设备包含至少一制程模组、基座本体、前端操控介面及后端操控介面，制程模组包含至少一制程腔体、装载端、卸载端、机械手臂以及冷却装置，装载端及卸载端是复合式卡式盒，用以分层容置多片式石墨承载盘，多片式石墨承载盘具有刻槽以装载各种尺寸的晶圆，藉由将卡式盒设计为能够容置装载晶圆的多片式石墨承载盘，减少制程中机械手臂的动作，并能同时对复数个晶圆进行快速热处理，在单位时间的产能上够大幅提升，提高了制程的弹性与设备相容性、节省制程时间，并减少晶圆的破片机率。

主权项

一种提升晶圆快速热处理产能之设备，包含：至少一制程模组，用以进行快速热处理；一前端操控介面，用以设定自动制程参数，并发出一自动化执行讯号；一后端操控介面，用以提供一手动操控介面或一半手动操控介面，以设定手动制程参数，并发出一手动执行讯号或一半手动执行讯号；以及一基座本体，用以容置该至少一制程模组，其中该至少一制程模组接收该自动执行讯号时进行自动化连续生产，而在该至少一制程模组接收该手动执行讯号或该半手动执行讯号时，执行手动模式生产或半手动执行模式生产，而该前端操控介面设置在该基座本体之前端，该后端操控介面设置在该基座本体的后端，该至少一制程模组的每一个至少包含至少一装载端及至少一卸载端，该至少一装载端及该至少一卸载端的每一个为一复合式卡式盒，该复合卡式盒中分层地容置装载至少一晶圆的复数个多片式石墨承载盘，该等多片式石墨承载盘的每一个尺寸相同。