| 摘要 |
<p>기판 처리 장치의 조절 방법에 있어서, 액정 프린팅 헤드의 노즐들간의 간격 및 기판 상의 셀들간의 간격에 대한 비교 데이터를 획득한다. 상기 노즐들간의 제1 방향으로의 간격이 상기 셀들간의 상기 제1 방향으로의 간격에 대응하도록 상기 액정 프린팅 헤드의 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로의 진행 각도를 조절한다. 상기 액정 프린팅 헤드를 상기 제2 방향으로 진행시켜 상기 노즐들 중 기준 노즐을 상기 셀들 중 제1 셀의 상부 영역내에 위치시키고, 상기 노즐들 중 상기 셀들의 상부 영역내에 위치하는 제1 노즐들을 판단하여 상기 제1 노즐들로부터 액정을 토출한다. 상기 액정 프린팅 헤드를 상기 제2 방향으로 진행시켜 상기 기준 노즐을 상기 셀들 중 제2 셀의 상부 영역내에 위치시키고, 상기 노즐들 중 상기 셀들의 상부 영역내에 위치하는 제2 노즐들을 판단하여 상기 제2 노즐들로부터 액정을 토출한다. 이로써, 다양한 패턴의 액정 프린팅이 가능하고 액정 토출량의 제어가 가능하다.</p> |
