| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur energiedispersiven Detektion von Röntgenstrahlung, umfassend folgende Schritte:–Bestrahlen einer Probe (20) mit einem Primärelektronenstrahl (11) unter Anregung einer Emission von Röntgenstrahlung (13) und Rückstreuelektronen (12),–Bereitstellen eines Mittels (34) zur Reduktion der Rückstreuelektronen (12), umfassend mindestens zwei Fenster (33) mit unterschiedlichen Transmissionseigenschaften für Rückstreuelektronen (12),–Positionieren eines der mindestens zwei Fenster zwischen einem Röntgendetektionselement (31) und einer Probe (20) und–Detektieren der Röntgenstrahlung (13) mittels des Röntgendetektionselements (31). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, das eine der mindestens zwei Fenster (33) so gewählt wird, dass in einem vorbestimmten Energiebereich an zumindest einem charakteristischen Röntgenpeak der Transmissionsgrad Tx für Röntgenstrahlen maximal ist und der Transmissionsgrad TBSE für Rückstreuelektronen höchstens 0,1 beträgt.</p> |
