| 摘要 |
Verfahren zur Oberflächenprüfung eines Lagerbauteils (2), wobei–die Oberfläche des Lagerbauteils (2) innerhalb eines Beleuchtungsgebiets (10) beleuchtet wird,–ein Detektionsgebiet (13) der Oberfläche des Lagerbauteils (2), das mit dem Beleuchtungsgebiet (10) überlappt, auf eine lichtempfindliche Fläche (12) eines ortsauflösenden Detektors (7) abgebildet wird,–vom ortsauflösenden Detektor (7) ein durch die Abbildung erzeugtes Bild des Detektionsgebiets (13) als eine Helligkeitsverteilung detektiert wird,–die Beleuchtungs- und/oder Abbildungsgeometrie so gewählt wird, dass die Abbildung des Detektionsgebiets (13) zur gleichen Zeit bereichsweise unter Hellfeldbeleuchtung und bereichsweise unter Dunkelfeldbeleuchtung des Detektionsgebiets (13) erfolgt und die detektierte Helligkeitsverteilung demgemäß einen Hellfeldbereich (17) und einen Dunkelfeldbereich (18) aufweist, die in einem Grenzbereich (19) aneinandergrenzen und–durch eine Analyse des Grenzbereichs (19) ermittelt wird, ob im Detektionsgebiet (13) ein Oberflächendefekt vorliegt. |
