中性ビームの特徴付けのための診断方法および装置ならびにそれによるプロセス制御

摘要

粒子ビームを特徴付ける装置および方法は、粒子ビームを減圧筐体の領域で受け取り、筐体から熱的に分離されるビームストライクに対して受け取ったビームを衝突させ、衝突ビームによるビームストライクの温度範囲を測定し、受け取ったビームによる筐体内の圧力変化を測定し、測定された温度範囲と測定された圧力変化とを処理してビームの特徴を判定することを提供する。【選択図】図５