| 摘要 |
<p>탐침 조립체는 스캐닝 탐침 현미경에 사용하기 위한 것이다. 탐침 조립체는 적어도 3개의 동일한 다수의 탐침이 구비된 캐리어를 포함하며; 상기 각각의 탐침은 다수의 탐침 팁에 공통인 평면에 배치되고, 이러한 평면으로부터 이동가능한 팁을 포함한다. 또한, 상기 조립체는 탐침의 나머지 대부분에 대한 상대이동을 위하여 다수의 탐침중 하나를 선택하는 어드레싱 수단을 포함한다. 사용된 탐침의 신속한 자동 교체를 촉진시키는 잠재력을 갖는 이러한 조립체는 고속 스캐닝 장치에도 사용된다.</p> |
