| 摘要 |
<p>기판회전 진공장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판회전 진공장치는 기판이 적재된 캐리어가 반입되어 적재되되, 진공상태로 유지가능한 진공공간에 회전가능하게 설치되는 캐리어 적재유닛; 캐리어 적재유닛이 회전가능하게 설치되되, 캐리어 적재유닛을 회전시켜 캐리어의 배치양상을 전환시킬 수 있는 캐리어 회전구동유닛; 및 캐리어 적재유닛에 설치되어 캐리어 적재유닛으로부터 캐리어의 이탈을 차단하는 캐리어 이탈차단모듈 및 캐리어 이탈차단모듈을 구동시키는 이탈방지 구동모듈을 구비하되, 이탈방지 구동모듈이 진공공간의 외부에 설치되는 캐리어 이탈방지유닛을 포함한다.</p> |
