大気圧プラズマ法によるコーティング作製方法

摘要

基板上にバリア層（１ｂ）を製造する方法及び装置。この装置は、少なくとも２つの電極（２、３）を持ち、この２つの電極（２、３）の間の処理空間（５）内に大気圧グロー放電プラズマを生成するように構成された大気圧グロー放電（ＡＰＧＤ）プラズマ装置と、原子層堆積（ＡＬＤ）装置とを備える。装置は、大気圧グロー放電（ＡＰＧＤ）プラズマ装置を用いて基板（１）上に無機酸化物層（１ａ）を堆積し、かつその無機酸化物層（１ａ）の上にＡＬＤ装置を用いて１〜７０原子層の連続堆積（１ｂ）を行うように構成されている。この結果、優れた水蒸気透過率を有するフレキシブルバリア基板が得られ、これは効率的に製造可能である。