发明名称 Gitteranpassad samintegrerad nanotrådsväxt för III-V/Ge CMOS
摘要
申请公布号 SE1330110(A1) 申请公布日期 2014.12.18
申请号 SE20130030110 申请日期 2013.09.16
申请人 MARTIN ANDREAS OLSSON 发明人 MARTIN ANDREAS OLSSON
分类号 H01L21/20;B82Y10/00;B82Y40/00;H01L21/04;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/775 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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