薄膜リチウムイオンマイクロ電池の製造方法及びその方法により得られたマイクロ電池

摘要

アノード材料の膜（アノード膜）と、固体電解質材料の膜（電解質膜）と、カソードコレクターに電気的に接触するカソード材料の膜（カソード膜）とを備えた全固体型の薄膜マイクロ電池を製造する方法であって、導電性基板又は少なくとも１つの導電性ゾーンが上記マイクロ電池の電極電流（アノード又はカソード電流）のコレクターとして用いられ得る上記導電性基板又は上記少なくとも１つの導電性ゾーンを有する基板上に第１電極膜（カソード又はアノード）を電気泳動法により成膜し、上記第１電極膜上に電解質膜を電気泳動法により成膜し、上記電解質膜上に第２電極膜（アノード又はカソード）を電気泳動法又は真空蒸着法により成膜することを特徴とする。【選択図】図５（ａ）