| 摘要 |
<p>Bei einem Verfahren zur Reinigung von Turbinenschaufeln von einer Verschmutzung durch Siliziumdioxid SiO2 wird in einem trocken ablaufenden Vakuumprozess, der in einem Hochvakuumofen erfolgt, das auf den zu reinigenden Turbinenschaufeln befindliche Siliziumdioxid bei erhöhter Temperatur selektiv reduziert, indem dem Hochvakuumofen ein aus Wasserstoffgas oder Kohlenmonoxid bestehendes reduzierend wirkendes Gas zugeführt wird. Die Temperatur im Hochvakuumofen beträgt wenigstens etwa 1000 Grad Celsius, und die Verweildauer der Turbinenschaufeln im Hochvakuumofen wird über die Abnahme der massenspektrometrisch analysierten SiO-Konzentration bestimmt. Der elektrisch beheizbare Hochvakuumofen ist mittels eines Vakuumsystems, das aus einer Vorpumpe sowie einer Turbomolekularpumpe mit einem regulierbaren Drosselventil und einem wassergekühlten Baffle besteht, evakuierbar. Ferner ist ihm über ein Präzisions-Hochvakuum-Regulierventil das reduzierend wirkende Gas zuführbar und er ist mit einem Massenspektrometer ausgerüstet.</p> |
