首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
ATOMIC LAYER DEPOSITION METHOD AND APPARATUSES
摘要
<p>A method includes operating an atomic layer deposition reactor configured to deposit material on at least one substrate by sequential self-saturating surface reactions, and using dry air in the reactor as purge gas.</p>
申请公布号
KR20140144243(A)
申请公布日期
2014.12.18
申请号
KR20147029804
申请日期
2012.03.23
申请人
PICOSUN OY
发明人
LINDFORS SVEN
分类号
C23C16/455
主分类号
C23C16/455
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
SANDWICH
METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING SLABS IN DIFFERENT SIZES
METHOD AND DEVICE FOR CATALYTIC EMISSIONS CLEANING
IMPLANTABLE MEDICAL DEVICE WITH ELECTROMAGNETIC ACCELERATION TRANSDUCER
METHOD AND COMPOSITIONS FOR TREATING HYPERLIPIDEMIA AND OTHER CONDITIONS
SEPARATION OF ACID GAS FROM COMBUSTION GASES
ANLAGE UND VERFAHREN ZUR SORTIERUNG MITTELS EINES GLEICHMÄSSIGEN WIRBELBETTES
Reflexionsfreie Verkleidungsschicht insbesondere für eine Elektronen strahlröhre
Dispersionen von mikroausgefällten Methinoxonolfilterfarbstoffen
TRANSPORTVORRICHTUNG FÜR NEU GEFORMTE GLASSCHEIBE
Informationsverarbeitungssystem und Verfahren für die Verarbeitung von Dokumenten mit strukturierten Schlüsselwörtern
Abdichtung
Bipolartransistor mit Heteroübergang
COMPOUNDS CONTAINING SIX-MEMBERED RINGS, PROCESSES FOR THEIR PREPARATION, AND THEIR USE AS MEDICAMENTS
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR GROBZERKLEINERUNG VON WASSERHALTIGEN POLYMERISATGELEN
Pyrogene Kieselsäure, Verfahren zu ihrer Herstellung und Verwendung
VORRICHTUNG UND WALZE ZUR BESCHICHTUNG VON ROTATIONSSYMMETRISCHEN FORMKÖRPERN
VERFAHREN ZUR DECODIERUNG KOMPRIMIERTER VIDEO-DATEN MIT REDUZIERTEM SPEICHERBEDARF
Verfahren und Anordnung zur Reinigung eines Zylinders einer Rotationsdruckmaschine
Verfahren und Vorrichtung zum Wickeln von Endlosfäden oder Garnen