Mikromechanische Feuchtesensorvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren sowie mikromechanische Sensoranordnung

摘要

Die vorliegende Erfindung schafft eine mikromechanische Feuchtesensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Feuchtesensorvorrichtung (FS; FS'; FS''; FS'''; FS'''') umfasst ein Substrat (1) mit einer Vorderseite (V) und einer Rückseite (R); eine über und/oder unter der Vorderseite (V) des Substrats (1) vorgesehenen interdigitalen Leiterbahnanordnung (L1, L2, L3; L1, L2, L3, L1a, L1b, L1c); und eine über und in den Zwischenräumen der interdigitalen Leiterbahnanordnung (L1, L2, L3; L1, L2, L3, L1a, L1b, L1c) befindlichen feuchteempfindlichen Polymerschicht (10). Die die feuchteempfindliche Polymerschicht (10) setzt sich unter der Vorderseite (V) in das Substrat (1) hinein fort.