| 摘要 |
<p>매니폴드 내의 압력을 효과적으로 분산하여 도장액을 균일하게 토출시킬 수 있는 매니폴드 구조를 제공하고, 미세막 도장에 유리한 심(shim) 구조를 제공하는 슬롯다이 구조를 제공한다. 도장액 코팅기의 슬롯다이(100)는 제1 블록(50)과 제2 블록(150)이 포개져 구성되고, 상기 제1 블록에는 비대칭의 유선형 오목부로 이루어진 매니폴드(60)와, 상기 매니폴드의 비대칭의 유선형 오목부의 기울기가 작은 면 쪽에 연통되는 도장액 공급로(75)가 구성되고, 상기 제1 블록과 제2 블록 사이에 심(shim:160)이 개재되어 상기 매니폴드의 비대칭의 유선형 오목부의 기울기가 큰 면 쪽으로 슬롯(70)을 형성한다. 상기 심의 단부(14a)는 매니폴드에 형성되는 도장액 공급로 영역 범위 내에 위치되도록 구성된다.</p> |
