| 摘要 |
<p>기판 증착 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 증착 시스템은, 기판을 처킹하는 척을 구비한 기판 캐리어; 기판을 지지하되, 기판을 기판 캐리어 방향으로 상승시키는 제1 기판 지지유닛; 및 제1 기판 지지유닛의 양측에 인접하게 마련되어 기판을 지지하되, 제1 기판 지지유닛에 대해 시간간격을 두고 기판을 기판 캐리어 방향으로 상승시키는 제2 기판 지지유닛을 포함하며, 제1 기판 지지유닛은, 기판을 접촉 지지하되, 기판 양측변의 중심부를 가로지르는 방향으로 상호 이격된 복수의 제1 지지핀부; 및 복수의 제1 지지핀부에 연결되되, 복수의 제1 지지핀부가 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 기판에 가해지는 압력을 일정하게 유지시키는 제1 탄성력 조절부를 포함하며, 제2 기판 지지유닛은, 기판을 접촉 지지하되, 기판 양측변의 끝단부를 가로지르는 방향으로 상호 이격된 복수의 제2 지지핀부; 및 복수의 제2 지지핀부에 연결되되, 복수의 제2 지지핀부가 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 기판에 가해지는 압력을 일정하게 유지시키는 제2 탄성력 조절부를 포함한다.</p> |
