| 摘要 |
【課題】 従来技術の問題の少なくとも１つを除去または軽減する放射源を提供する。【解決手段】 リソグラフィ装置のイルミネータに放射ビームを提供するのに適した放射源である。この放射源は、燃料液滴の流れを軌道に沿ってプラズマ形成地点に向けて誘導するように構成されたノズルを備える。放射源は、使用に際して、第１の量の放射がプラズマ形成地点で燃料液滴に入射するべく、かつ、使用に際して、第１の量の放射が燃料液滴にエネルギを伝達して第２の量の放射を放出する放射生成プラズマを生成するべく、第１の量の放射を受けるように構成される。放射源はさらに、第１の量の放射の焦点位置を示す第１の量の放射の特性を測定するように構成された第１センサアレンジメントと、燃料液滴の位置を示す燃料液滴の特性を測定するように構成された第２センサアレンジメントと、を備える。【選択図】 図３ |
